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硅烷燃烧塔
为满足太阳能、光能行业，半导体行业即CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化，硅烷废气可使用不锈钢硅烷燃烧塔。
硅烷性质
硅烷也称矽烷，化学分子式SiH4的一种化合物，该气体无色无臭，密度1.44克/升，熔点-185℃，沸点-111.8℃，不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃气体，在空气中无需加火源，硅烷就可以自然，生成二氧化硅和水，并放出大量的热量，可被一般氧化剂氧化。
硅烷燃烧塔原理
硅烷燃烧塔通常采用优质不锈钢原料进行制造，根据硅烷与空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷雾处理，使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。
含有硅烷及氨气等成分的混合废气通过管道进入不锈钢硅烷燃烧筒中，在燃烧筒的燃烧室内硅烷气体与通入的压缩空气接触燃烧，燃烧后产生的二氧化硅粉尘从燃烧室底部的排渣口排出，其它废气成本携带粉尘进入高效除尘器中。经过滤后，粉尘去除率达到99.99%。此时含有氨气的其他废气进入喷淋洗涤室。在喷淋洗涤室中，氨气与循环液发生反应而被处理掉，处理完的气体经除雾后由风机抽出，最后通过排放烟囱排入大气，排出气体达到国家标准。
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